Kužele s iónovým lúčom

Iónové kužele SIKAIDA sú základnými komponentmi systémov implantácie a prenosu iónových lúčov. Vyrobené z vysoko čistých pokročilých keramických materiálov a spracované presným vstrekovaním a vysokoteplotným spekaním, vyznačujú sa extrémne nízkym obsahom nečistôt, vysokou teplotnou odolnosťou a stabilnou rozmerovou presnosťou. Môžu byť opracované do zložitých geometrií, aby spĺňali extrémne vysoké požiadavky na toleranciu, vďaka čomu sú vhodné pre vysokovýkonné procesy implantácie polovodičových iónov.

Ako profesionálny výrobca v Číne poskytuje spoločnosť SIKAIDA spoľahlivé, nákladovo efektívne a prispôsobiteľné kužele iónového lúča zákazníkom na celom svete v oblasti polovodičov, plochých displejov, optiky, mikroelektromechanických systémov (MEMS) a solárnych energetických polí. SIKAIDA je dôveryhodným dlhodobým dodávateľom a špecializovaným výrobným závodom pre špičkové komponenty procesu s iónovým lúčom.

Materiály a výroba

1. Materiály

Ion Beam Cones využíva materiály vrátane oxidu hlinitého (Al₂O3) s čistotou ≥99,9 %, nitridu kremíka (Si3N4) s čistotou ≥99,5 %, oxidu zirkónia (ZrO₂) s čistotou ≥99,8 % a taveného oxidu kremičitého (9,9,9 %) Všetky materiály spĺňajú prísne štandardy čistoty polovodičového priemyslu a sú vhodné pre výkonové požiadavky rôznych aplikácií.

2. Výrobný proces

Výrobný proces zahŕňa presné vstrekovanie, vysokoteplotné spekanie, CNC presné obrábanie, zrkadlové leštenie a automatické čistenie a testovanie. Každý proces je prísne kontrolovaný z hľadiska presnosti a kvality, aby sa zabezpečilo, že konečný produkt spĺňa priemyselné normy a požiadavky zákazníkov.

Kľúčové parametre produktu

1. Presnosť rozmerov

Kužele s iónovým lúčom majú tolerancie riadené v rozmedzí ±0,05 mm, drsnosť povrchu Ra≤0,4μm, presnosť zúženia vnútorného otvoru ±0,02 mm, koaxiálnosť ≤0,03 mm a kolmosť ≤0,02 mm. Táto extrémne vysoká rozmerová presnosť účinne zaisťuje presnosť prenosu iónového lúča.

2. Povrchová úprava

Povrchové úpravy zahŕňajú mechanické leštenie pre zrkadlový povrch, UV-vytvrdzované nátery na zlepšenie povrchových vlastností, nátery odolné proti poškriabaniu na zlepšenie odolnosti proti opotrebovaniu a kyslé morenie a pasiváciu na odstránenie nečistôt a zlepšenie stability. Na základe požiadaviek aplikácie je možné zvoliť vhodné metódy ošetrenia.

3. Ukazovatele výkonnosti

Iónové kužele pracujú v teplotnom rozsahu -196 ℃ až +800 ℃, čím zaisťujú stabilnú prevádzku v prostredí s extrémnymi teplotami. Majú objemový odpor ≥10¹⁴Ω·cm a povrchový odpor ≥10¹²Ω, pričom vykazujú vynikajúce izolačné vlastnosti. Majú tiež vynikajúcu odolnosť voči plazmovej a chemickej korózii, čo im umožňuje prispôsobiť sa zložitým procesným prostrediam.

Hlavné výhody

1. Ultra vysoká čistota: Čistota suroviny presahuje 99,9 %, čím sa minimalizuje kontaminácia polovodičových doštičiek, zabezpečuje sa stabilný elektrický výkon zariadení a spĺňajú prísne požiadavky na čistotu výroby polovodičov.

2. Extrémne vysoká geometrická presnosť: Zabezpečuje konzistentné rozmery produktu počas sériovej výroby, s kužeľovou chybou riadenou v rozmedzí ±0,05 mm a chybou kruhovosti ≤0,02 mm, čo presne zodpovedá požiadavkám na inštaláciu a používanie systémov prenosu iónového lúča.

3. Kvalita povrchu podobná zrkadlovke: Drsnosť povrchu Ra≤0,4μm, účinne znižuje rozptyl iónového lúča, zlepšuje rovnomernosť prenosu iónového lúča a ďalej optimalizuje presnosť implantácie polovodičových zariadení.

4. Stabilita širokého teplotného rozsahu: Funguje stabilne v hlbokom kryogénnom až vysokoteplotnom prostredí. Materiál má extrémne nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, zachováva si vynikajúcu rozmerovú stálosť aj pri teplotných zmenách, čím zabraňuje vplyvu na výkon v dôsledku kolísania teploty.

5. Vynikajúca izolácia a odolnosť proti korózii: Účinne zabraňuje akumulácii náboja počas prenosu iónového lúča a odoláva silným kyselinám, silným zásadám a rôznym plazmovým koróziám, čím zabezpečuje dlhodobú stabilnú prevádzku v zložitých procesných prostrediach.

Prispôsobené služby

Modely a veľkosti produktov je možné prispôsobiť podľa rôznych procesných požiadaviek. Podporované formáty výkresov zahŕňajú STP, STEP, IGS, XT, DXF, DWG, PDF a fyzické vzorky. Pokiaľ ide o dodaciu lehotu, dodanie vzorky je 4-7 týždňov a dodanie dávkového produktu je 8-12 týždňov. Náš systém kvality je v súlade s normami ISO9001: 2015, SGS RoHS, REACH a SEMI, čím komplexne zabezpečuje kvalitu produktov a efektívnosť dodávok.

Oblasti použitia

Iónové kužele sa široko používajú vo viacerých oblastiach, vrátane iónových implantátorov pri výrobe polovodičov, zariadení na spracovanie v plochých panelových displejoch, systémov nanášania iónovým lúčom (IBD) a leptania iónovým lúčom (IBE) pri výrobe optických zariadení, výrobe mikroelektromechanických systémov (MEMS), zariadení na doping iónov pre solárne články a procesov implantácie iónov pre výkonové polovodičové zariadenia (napr. výkonové polovodičové transmisory a bielektrické transmisory). MOSFETy.

Často kladené otázky:

Q1: Aké materiály sa zvyčajne používajú v kuželoch s iónovým lúčom?

A1: Primárne používame pokročilé keramické materiály, ako je vysoko čistý oxid hlinitý (Al₂O₃), nitrid kremíka (Si₃N₄) a oxid zirkónia (ZrO₂). Tieto materiály majú extrémne vysokú čistotu, vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a stabilné elektrické vlastnosti.

Q2: Môže UET poskytnúť prispôsobené špecifikácie a povrchové úpravy? 

A2: Áno. UET môže prispôsobiť veľkosť, zúženie, typ materiálu a povrchovú úpravu kužeľov podľa vašich požiadaviek na proces. Máme rozsiahle výrobné skúsenosti a dokážeme splniť špecifické aplikačné požiadavky zákazníkov.

Q3: Ako je zaručená presnosť a kvalita kužeľov s iónovým lúčom?

A3: Prijímame systém riadenia kvality ISO9001: 2015 a sme vybavení vysoko presným testovacím zariadením vrátane súradnicového meracieho stroja, testera drsnosti povrchu a röntgenového fluorescenčného spektrometra, aby sme zabezpečili, že každá šarža produktov spĺňa prísne priemyselné normy.

Q4: Aký je cyklus dodania?

A4: Cyklus dodania vzorky je 4-7 týždňov a cyklus dodania dávkového produktu je 8-12 týždňov. Konkrétny cyklus závisí od zložitosti produktu a množstva objednávky.